GH10

工作原理:

该源采用永久磁铁,在阳极附近产生发散的、沿轴向具有较大梯度的磁场,并在环状的霍尔电流作用下,使离子沿轴向加速拨出,形成离子束。因而,该源通常又被叫做霍尔离子源。

 

产品作用:

1.提高膜层结合力

2.减小吸收

3.提高膜层致密性

 

产品特点:

1能量2离子束流密度较高3、大均匀区4、使用便利性5、价比高。

 

技术参数:

放电电压

100--200(V)

放电电流

0--10(A)

适用箱体

Ø1350 (mm,Max)

外型尺寸:

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