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工作原理:
该源采用永久磁铁,在阳极附近产生发散的、沿轴向具有较大梯度的磁场,并在环状的霍尔电流作用下,使离子沿轴向加速拨出,形成离子束。因而,该源通常又被叫做霍尔离子源。
产品作用:
1.提高膜层结合力:
2.减小吸收:
3.提高膜层致密性:
产品特点:
1、能量较低2、离子束流密度较高3、大均匀区4、使用便利性5、价比高。
技术参数:
放电电压
100--200 (V)
放电电流
0--3 (A)
适用箱体
Ø600 (mm,Max)
外型尺寸: