工作原理：

该源采用永久磁铁，在阳极附近产生发散的、沿轴向具有较大梯度的磁场，并在环状的霍尔电流作用下，使离子沿轴向加速拨出，形成离子束。因而，该源通常又被叫做霍尔离子源。

产品作用：

1.提高膜层结合力：

2.减小吸收：

3.提高膜层致密性：

产品特点：

1、能量较低2、离子束流密度较高3、大均匀区4、使用便利性5、价比高。

技术参数：

外型尺寸：