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三代离子源驱动器:
2012年,在二代产品的基础上,我们研制定型了KL12、KL16、HL06和HL10离子源驱动器。该代控制器具有工作参数LCD集中显示,故障报警,输入和输出模拟量接口,满足了全自动镀膜的需要。
HL06/HL10型离子源驱动器
KL06/KL12型离子源驱动器
KL16型离子源驱动器